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　　等离子体清洗在各方面有什么样的应用？下面，低温等离子模块厂家来给大家分享一下。
　　1、硬盘
　　用等离子清洗来去除由上一步溅镀工艺留下的残余物，同时基材表面经过处理，对改变基材的润湿性，减小摩擦，很有益处。
　　2、零件清洗
　　在经过机械加工的零件表面主要残留物为油类污染，采用O2等离子体去除会有用。
　　3、BGA封装工艺
　　在BGA工艺中，对表面清洁和处理都是严格的，焊球与基板的连接要求一个洁净表面以保障焊接的一致性。等离子体处理它可以保障没有痕迹，BGA焊盘要求等离子处理来保障良好的粘接性能，并且，已有批量和在线式的清洗工艺。
　　4、液晶显示器生产中的清洗
　　在液晶清洗中的干式清洗，使用的气体是氧的等离子体，它能除去油性污垢和脏物粒子，因为氧等离子体可将有机物氧化，形成气体排出。
　　5、蚀刻工艺
　　某种程度来讲，等离子清洗实质上是等离子体刻蚀的一种较轻微的情况。进行干式蚀刻工艺的设备包括反应室、电源、真空部分。工件送入被真空泵抽空的反应室。气体被导入并与等离子体进行交换。等离子体在工件表面发生反应，反应的挥发性副产物被真空泵抽走。等离子体刻蚀工艺实际上便是一种反应性等离子工艺。